/ 最終更新日時 : プラズマの応用技術 反応性イオンエッチング（RIE） 反応性イオンエッチング、いわゆるRIEとよばれるエッチング方法について説明しています。様々なサイトや本で詳しく説明されているのですが様々な物質やガス、膜の種類によって反応がことなることから、仕組みを理解するのに苦労することが多い技術です。ここではこの技術の概要をイメージしやすい様に汎用的に説明しています。
/ 最終更新日時 : プラズマの応用技術 マグネトロンスパッタ 通常のスパッタリングの効率と速度を改善したスパッタ方法にマグネトロンスパッタと呼ばれるものがあります。これは磁力を利用してプラズマを一定の範囲に閉じ込めることで密度を高くする方法です。このマグネトロンスパッタの仕組みについて出来るだけ分かりやすく説明しています。
