スミスチャートはみたことはあるが、詳しい使い方がわからないと言った場合に基本的なところから理解したい人にすすめです。スミスチャートのシミュレーションソフトが付属されておりソフトを使用しながらスミスチャートについて、またインピーダンスの解析方法を学ぶことができます。
スパッタリングを使用した装置で実際に使用されている技術や、スパッタリングの種類等基本的な内容から、近年実用化されているパルス放電でカソードでの挙動がどの様になるか、またどの様なパルス放電でどの様に膜質改善効果があるかなどの実用的な内容までとても分かりやすく、プロセス技術の第一人者によって書かれています。
高周波やスパッタリングを扱っていると、オームの法則やコイルの計算等の基本的なことからそれに関連付けられた磁性体や磁界の専門的な内容まで幅広い範囲を網羅して関連付けられている資料や本が欲しいと思うことが多いと思います。しかしなかなかぴったりな本がないのですが、この本はこの分野に関わる人が必要としている内容が単位系の種類、オームの法則などの基礎的な内容から波動方程式等の専門的な内容まで網羅されている非常に役立つ本です。
プラズマや高周波と関わるうえでインピーダンスの意味を理解することが重要です。この本はフーリエ変換やラプラス変換といった難しい計算を避けながら、数式のもつ意味から丁寧に説明されています。高価な本ではありますが実際のインピーダンスの測定の結果の解釈方法等が説明されておりこの本を理解することで電気的な現象とインピーダンスとの関係性の理解が非常に深まります。
高周波を使用する上で避けられない電波法なのですが、この分野での技術者やその他の関係者の中で詳しく説明された資料た情報が調べられずに困った経験のある人も多いのではないでしょうか。この本は総務省で制度整備に直接関与した著者だからこその徹底された解説が記載されています。高周波を問い扱うメーカーやユーザー販売代理店、また高周波設備に携わる設計者や技術者まで、高周波に携わる人には必要不可欠な内容が解説されていますので手元においておくと非常に参考になります。
ドライエッチングといっても様々な種類のエッチング方法があり、また様々な構造の装置がありますが、それらについて幅広く説明されています。専門的な内容になるためドライエッチングについて詳しく書かれた本は少ないのですが、この本ではメカニズムが理解しやすく説明されているだけはでなく実務経験豊富な筆者ならではの視点で非常に参考になる内容が書かれています。はじめてドライエッチングに関わる人から、経験の豊富なエンジニアの方まで幅広く参考になる内容が書かれています。