仕組みを理解するのに苦労することが多い反応性イオンエッチング、いわゆるRIEとよばれるエッチング方法について説明しています。
通常のスパッタリングの効率と速度を改善したスパッタ方法にマグネトロンスパッタと呼ばれる。磁力を用いたスパッタの特徴を説明しています。
スパッタリング何のために利用される技術なのか。それは様々な薄い膜を作るために利用されています。スパッタリングとは何かを説明しています。
VPPとVDCとはそれぞれどういった意味があるのか、またプラズマチャンバーでなぜVDCが発生するのかを可能な限り分かりやすく説明しています。
