プラズマの応用技術

プラズマを応用した技術にはスパッタリングやイオンプレーティング、CVDと言った様々な技術があります。電子部品をはじめとしてあらゆるものへ利用されている技術なのですが専門的な分野のため初めて勉強する人には理解できないことが多いのが現実です。ここでは、実用的な内容をかみ砕いて説明することで、初心者の方だけではなく、すでにプラズマの技術へ携わっている方にも参考となる内容を紹介しています。

高周波特有の技術

高周波電力は直流や通常の交流電力と比べて非常に取り扱いが難しい分野です。周波数が高くなればなるほどノイズや損失が発生しやすくなり、また反射電力が発生することで想定通りの働きをさせるのが困難になってきます。高周波を取り扱うにはある程度の知識と経験が必要になってしまいます。しかし、ある程度実務的な知識があれば基本的な高周波電力を取り扱うことはそれほど難しいことでは無くなります。そこでここでは高周波電力を取り扱う上で必要な基本的な技術や知識を紹介しています。

電気計算の技術

オームの法則といった基本的な電気の計算はご存じの人が多いのではないでしょうか。実際に高周波やプラズマを取りう様になってくると反射係数の計算やインピーダンスの計算、またフーリエ級数といった込み入った計算が必要になってきます。それらを実務で活かして行くためには、その意味やイメージをもって数式を扱う必要があります。教科書や参考書などでは実際にどの様に実務へ応用すればよいかまで説明していることが少ないため、ここでは特に実務的な内容を踏まえた使用方法を紹介します。

確率統計計算の技術

プラズマや電気に関する分野でも統計や確率の計算が多く使用されています。電気回路の設計を行う上で各部品の信頼性の計算や、設計上で想定する寿命の計算にも必要となってきます。またプラズマ装置では分子や原子の衝突する確率から様々な内容を計算しシミュレーションを行うことで必要な電力や必要な装置の大きさ、また構造を決めてゆきます。ここではそれらで使用する実用的な確率統計の計算方法を紹介します。

業界と特有の決まり

高周波やプラズマに携わる上でこの分野特有の業界の事情や業界の関係性があります。プラズマを利用する装置や製品をつくるメーカーでもそれを利用する製品や工程の違いによってライバルの会社の様にみえても共存している部分があったりもします。またこの高周波を取り扱う分野では電波法やその他のきまり、プラズマを利用して半導体をつくる装置などでは業界特有の規格やきまりがあったりもします。この分野ではそのような必要となる知識ですが学ぶ機会の少ない内容を紹介しています。
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