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絶縁物スパッタ
絶縁物スパッタ
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理論
VPPとVDC
VPPとVDCとはそれぞれどういった意味があるのか、またプラズマチャンバーでなぜVDCが発生するのかを可能な限り分かりやすく説明しています。
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