通常のスパッタリングの効率と速度を改善したスパッタ方法にマグネトロンスパッタと呼ばれるものがあります。これは磁力を利用してプラズマを一定の範囲に閉じ込めることで密度を高くする方法です。このマグネトロンスパッタの仕組みについて出来るだけ分かりやすく説明しています。

パッタリングは何のために利用される技術なのか。それは様々なものへ薄い膜を作るために利用されています。通常のメッキ等よりもより均一に純度の高い膜をつくる、また通常メッキの材料として使用できない絶縁物等でも膜をつくることができます。その仕組みを分かりやすく説明しています。