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高周波スパッタリングとは?

スパッタリングとは何か。高周波を用いる装置ではよくスパッタリングと言う言葉を耳にするかと思います。簡単に説明すると金属や、ガラス、プラスチックなどの物体に非常に薄い膜を作る技術です。身近なところで言うと、メガネの反射を抑えるコーティングや、プラスチック製品へ金属色の光沢のある装飾もそうですし、食料品や医薬品を入れる袋などに薄い銀色の膜をつけ紫外線や光による劣化を防ぐ加工もこの技術が用いられています。スパッタリングには、様々な手法がありますがここでは高周波スパッタ(RFスパッタ)に焦点をあてて説明します。

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